FC300
Le Flip-Chip Bonder FC300 est la dernière génération d’équipements haute précision et haute force pour l’assemblage puce-à-puce -jusqu’à 100 mm- et puce-sur-wafer -jusqu’à 300 mm, avec une précision post-assemblage de 0.3 µm.
Le FC300 couvre une large gamme de forces d’assemblage, de 1 à 4000 N.
Cela le rend parfaitement adapté aux processus de refusion et de thermocompression.
Le nivellement entre les deux composants est ajusté avant chaque assemblage à 1 μradian près.
Le réglage du parallélisme, l’alignement haute résolution et le contrôle parfait de tous les paramètres permettent d’atteindre une précision post-assemblage submicronique.
Avantages
- Précision post-assemblage de ± 0.3 µm
- Assemblage à faible / haute force
- Parfait contrôle du parallélisme
- Gaz de confinement dont acide formique
- Système de vision unique
- De la R&D à la ligne pilote
Procédés
- Flip-Chip / Die bonding
- Thermocompression
- Reflow
- Adhesive bonding
- Polymérisation UV
- Thermosonique
Applications
- Capteurs d’images infrarouge, UV, rayons X
- Afficheurs µLEDS
- Informatique quantique
- Intégration 3D, empilage de puces
- Optoélectronique
- Photonique
- Puce-à-Puce
- Puce-sur-Wafer
- UV-NIL
Données techniques
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