紫外纳米压印技术

纳米压印光刻(NIL)允许对尺寸小至几十或几百纳米的图案进行复制。

两种主要工艺:

紫外纳米压印技术是一种纳米压印方法,它基于现场材料配料,然后使用受控制的后续性紫外固化和按压。根据应用的要求,可以在校准之后或之前进行光致抗蚀剂配料。