热压印光刻技术

热压印光刻技术（HEL）是一种纳米压印光刻（NIL）方法，它在压印过程中使用受控制的温度和压力。

热压印光刻技术（HEL）允许对特征尺寸小至几十或几百纳米的图案进行复制

通常基板本身是一种热塑性材料，例如聚碳酸酯，否则就需要用旋涂机对其表面进行涂覆热压印材料（热塑性抗蚀剂或聚合物）。